ダストの発生を防ぐ：なぜ金メッキされたIRランプが重要なのか 大量生産のファブでは、ランプが壊れると大問題です。単に部品を交換するだけで済むわけではなく、その後の処理も大変です。通常の石英管が破損すると、微小な粒子がウェーハ全体に飛散してしまいます。一度でも破損すれば、一括での製品が台無しになって...

なぜ金メッキされたツインチューブ型赤外線ランプが、あなたのファブにとって重要なのか？ スマートファブを構築する際には、熱源が単に「熱くなる」というだけでは不十分です。それだけでは問題を引き起こす可能性があります。熱源は、データや生産ラインと調和して動かなければなりません。 そこで役立つのが、私たち...

もう、機械全体を加熱するのはやめて、部品だけを加熱しましょう。 ほとんどの赤外線ランプは、熱をあちこちに放散してしまいます。360度全方位に熱が放出されるため、狭い半導体製造装置の中で作業を行う際には大変です。熱は加工対象物ではなく、装置の内壁に当たってしまいます。その結果、熱が集中して、電子機器...