ダストの発生を防ぐ：なぜ金メッキされたIRランプが重要なのか
大量生産のファブでは、ランプが壊れると大問題です。単に部品を交換するだけで済むわけではなく、その後の処理も大変です。通常の石英管が破損すると、微小な粒子がウェーハ全体に飛散してしまいます。一度でも破損すれば、一括での製品が台無しになってしまいます。
私たちはその問題を解決する方法を見つけました。その秘訣は、金メッキと特殊なケースの組み合わせにあります。
金メッキの効果
石英管の表面に薄い金の層を塗ることで、光の進行方向を変えることができます。そうすることで、熱があちこちに逃げるのを防ぎ、赤外線エネルギーを再びウェーハの方に戻します。これにより、二つの効果が得られます。第一に、ウェーハがより速く加熱されます。第二に、ランプ自体にかかる負担が軽減されます。熱が適切に管理されるため、石英管が破壊されることもありません。
塵の侵入を防ぐ
最も重要なのは、管が破損した際にも何もウェーハに当たらないようにすることです。そのために、強化された石英製のケースを使用しています。内部のフィラメントが壊れても、金メッキされたケースが通常のガラスよりも長く形状を保ちます。また、精密に作られたエンドキャップも使用されており、これによって加熱室から異物やガスが漏れ出るのを防ぎます。
間題点について
ただし、このランプは非常に多くの熱を発生させます。金メッキによって効率は向上しますが、同時にランプのケースも高温になります。冷却システムをしっかり確認する必要があります。空気の流れが弱すぎると、反射された熱が周囲のセンサーに影響を与える可能性があります。
私たちは、24時間365日稼働するファブで使えるように、このランプを作っています。これにより、ウェーハがきれいな状態を保ち、生産ラインが滞ることもありません。