ウェーハ加熱用の安全距離

現代のファブで適切な温度管理を行うには スマートなファブを構築する際、自動化だけでは不十分です。本当の問題は熱管理です。デジタルコントローラーの指示に従い、かつ過度な負担をかけないような熱源が必要です。 そのため、私たちの多くは短波赤外線を利用しています。これなら、エネルギーをウェーハに直接送り込...