現代のファブで適切な温度管理を行うには スマートなファブを構築する際、自動化だけでは不十分です。本当の問題は熱管理です。デジタルコントローラーの指示に従い、かつ過度な負担をかけないような熱源が必要です。 そのため、私たちの多くは短波赤外線を利用しています。これなら、エネルギーをウェーハに直接送り込...

もう、赤外線ヒーターと格闘するのはやめましょう。 ほとんどの赤外線ヒーターは、一度設置すればその後は忘れ去られるようなものです。管が壊れるまではね。 そして、製造から5年後になると、突然大変な状況に直面します。パネルを取り外したり、古い配線をいじったりしなければならず、生産ラインも停止してしまいま...

製造現場においては、ソフトベイクやハードベイクの工程では、精度を確保することが重要です。わずか2度の温度変動でも、部品の寸法に影響を与えますし、粒子の存在も全体の品質を損なう可能性があります。そのため、この工程で求められる厳格な基準に合わせて、二重チューブ式の赤外線ヒーターを設計しました。 肝心な...

Introduction 当社は作業場や工場フロア向けの赤外線スペースヒーターを製造しています。基本的な考え方はシンプルで、空気を暖めることなく、必要な場所に直接すぐに熱を供給することです。 しかし、赤外線の性能は表面の清潔さに依存します。外部の石英管に埃が付着すると、熱に毛布をかぶせたような状態...