CE認証済み半導体ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストのベイク中に0.3°Cの温度変動があるだけで、エッチング工程に至る前に大量のウェハが不良となる。熱予算は妥協しない。この現実に対応するために、CE認証取得済みの半導体用ヒーターを開発した。焼成ウィンドウ全体で±0.1°Cのウェハレベルの均一性を維持し、重要寸法が温度...