なぜウエハー処理において赤外線加熱が熱風加熱より優れているのか もし、従来の熱風循環方式から赤外線加熱方式に移行しようと考えているなら、それを単に「より良い装置」を手に入れるということだけでは考えないでください。むしろ、時間を節約できるという点に注目してください。 熱風加熱は遅いです。対流を利用す...

300mmラインでは、熱バランスは単なる目安ではなく、絶対に超えてはいけない基準値です。ソフトベイク時に温度が0.5度程度変動しても、その影響はフォトレジストのプロファイル上に現れます。ハードベイク時に設定値を達成できなければ、現像後に汚れが発生します。私たちは、このような状況に対応するためにこれ...