リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイクの際に生じる0.5度程度のずれは、スプレッドシート上の数字としては表れません。しかし、それは線幅のばらつきや接着力の低下、エッチング後の歩留まりの低下として現れます。私たちは、このようなばらつきを排除するために、フォトレジストを加熱するランプを...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクを単なるウォームアップとして扱ってはいけません。これは、溶剤の含有量を固定し、フォトレジストの接着を確実にするための重要な加熱工程です。ウェハ全体で1℃の温度差が生じたり、ランプの照射範囲に温度差があったりすると、重要な寸法制御が失われてしまいます。線幅のば...