ウェーハを扱う現場では、迅速に学習が求められます。焼成温度が半度でも変わると、全体のウェーハの寸法に影響が出てしまいます。ソフトベイクやハードベイクというのは、単なる加熱処理ではなく、実際には寸法精度を保つための手段です。もしヒーターがウェーハ全体の均一性や再現性を保てない場合、製品の歩留まりは低...

リソグラフィーの工程においては、フォトレジストを軟化させる際に1°Cの温度変動があっただけで、部品の寸法が変わり、そのロットは廃棄処分になってしまいます。ですから、シフトごとにも規定範囲内で温度を維持するための熱制御が不可欠です。 技術的に重要な点 当社のヒーターは、ベイキング面全体でウェーハ単位...