中国製 ファブヒーター工場

リソグラフィーの工程においては、フォトレジストを軟化させる際に1°Cの温度変動があっただけで、部品の寸法が変わり、そのロットは廃棄処分になってしまいます。ですから、シフトごとにも規定範囲内で温度を維持するための熱制御が不可欠です。 技術的に重要な点 当社のヒーターは、ベイキング面全体でウェーハ単位...