ファブ化学キャビネットヒーター

製造現場では、ソフトベイクの際に温度がどれだけ急速に変動するかが問題になります。たとえ0.5℃程度の温度変動でも、ウェーハ上の線幅に影響が出てしまい、それが最終的には歩留まりの低下につながります。また、低温で化学薬品を保管する場合、粘度が変化し、熱的な不均一性が原因で再現性の問題が生じ、次のロット...