省エネ型半導体ヒーター

半導体製造工場での炭素削減：なぜ短波長の赤外線がより効果的な加熱方法なのか 正直に言って、半導体製造工場で炭素中和を実現するのは非常に困難です。問題の大部分は、どうやって熱を扱うかという点にあります。長年にわたり、私たちは抵抗加熱を利用してきましたが、これは非効率的です。ウェハーの周囲の空気を温め...