乾燥装置がオーブンのようになるのを防ごう もし、製造現場で働いたことがあるなら、この問題はよく知っているはずです。乾燥処理を行っていると、突然装置の内壁が焼け焦げてしまいます。本当に厄介です。 問題は簡単です。通常の加熱素子では、エネルギーがあらゆる方向に放出されます。確かにウェーハは熱くなります...

赤外線を活用して、生産ラインの効率を高める方法 「スマートファブ」を構築する際、従来の対流式加熱方式ではもはや十分でないことがわかるでしょう。速度が遅すぎます。生産ライン全体がデジタル化されている場合、加熱器が温まるのを待っている暇はありません。そこで役立つのが赤外線です。 私たちは、秒単位で時間...

工場でのIR硬化処理への切り替え クリーンルームの設備をアップグレードする際、通常は2つのことを同時に考慮しなければなりません。それは、「環境に優しい無鉛基準」を満たすこと、そして生産効率が低下しないようにすることです。 多くの人はまず対流式オーブンから始めます。しかし正直なところ、大量の空気を加...

化学的な清掃エリアで火花が発生するのを未然に防ぐ 工場内で可燃性の化学物質を扱う際には、ちょっとしたミスでも大惨事につながりかねません。わずかな火花や、少し過度に高温になった表面だけで、通常の清掃作業が大事故に変わってしまうのです。これは非常に危険なことです。 そのため、私たちは通常の加熱方式を使...

なぜ、ファブランプの石英ガラス製のシールドは単なる断熱材以上の役割を果たすのか ほとんどの人は、ファブランプに使われている石英ガラス製のシールドを、単なる断熱材だと思っています。しかし、実際にはもっと重要な役割があります。このシールドは、高電圧の電流が機器の筐体内部に直接流れ込むのを防ぐための重要...

製造現場では、ソフトベイクの際に温度がどれだけ急速に変動するかが問題になります。たとえ0.5℃程度の温度変動でも、ウェーハ上の線幅に影響が出てしまい、それが最終的には歩留まりの低下につながります。また、低温で化学薬品を保管する場合、粘度が変化し、熱的な不均一性が原因で再現性の問題が生じ、次のロット...

リソグラフィーの工程においては、フォトレジストを軟化させる際に1°Cの温度変動があっただけで、部品の寸法が変わり、そのロットは廃棄処分になってしまいます。ですから、シフトごとにも規定範囲内で温度を維持するための熱制御が不可欠です。 技術的に重要な点 当社のヒーターは、ベイキング面全体でウェーハ単位...

アウト工程のフロアでは、最終パッケージング直前のラインが、目に見えないまま歩留まりを削るポイントとなる。乾燥工程から持ち込まれたわずかな水分があれば、剥離やワイヤーボンド内部の空洞、そして数週間後、実装後に初めて表面化する歩留まりの低下に直面することになる。熱ドリフト、粒子発生、計画外停止はいずれ...

ファブフロアでは、熱ドリフトが警告ラベルで示されることはない。トラック上のライン幅の逸脱、洗浄後のスカムエッジ、あるいはパッケージ硬化後に発生する剥離として現れる。リソグラフィおよびパッケージングにおいて、サーマルバジェットは選択肢ではなく、必ず守る必要がある。これを超えれば、その代償を払うことに...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークプロファイルは推奨事項ではなく、厳守すべき規則である。ソフトベークやハードベーク中の2℃の温度変動はクリティカルディメンションのバイアスを生じさせ、加熱中に1つの粒子が剥離するだけでウェハをスクラップにする可能性がある。熱ドリフト？それはスクラップとダウンタ...

ファブフロアでは、時間は誰のためにも遅くはなりません。リソグラフィセルは次のベーク待ちでバックアップが発生し、エッチングツールは熱安定性が回復するまでアイドル状態になります。計画外の熱損失の1分1秒が不良品とロットの遅延につながります。IRランプが故障した場合、特注品を待つ余裕はありません。同じ温...