リソグラフィーの工程においては、ポリイミド系フォトレジストは、通常のランプを使った場合とは異なる厳格な温度管理が必要です。わずか0.5度程度の温度変動でも、レジストの厚みが均一でなくなってしまいます。また、過度に高い温度で加熱すると、エッチング後に残留物が残ってしまいます。必要なのは、信頼性の高い...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクを単なるウォームアップとして扱ってはいけません。これは、溶剤の含有量を固定し、フォトレジストの接着を確実にするための重要な加熱工程です。ウェハ全体で1℃の温度差が生じたり、ランプの照射範囲に温度差があったりすると、重要な寸法制御が失われてしまいます。線幅のば...