部屋全体や作業員を加熱するのはやめましょう。 もし半完成品の製造において、従来の対流式オーブンを使ったことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。基材の温度を適切に保つために加熱を強くするのですが、結果的にオーブン全体が非常に高温になってしまいます。内壁がすべての熱を吸収してしまうのです。すると...

クリーンルーム用のランプを安全に保つために（そして作業場所も清潔に保つために） クリーンルームで作業するときは、些細なミスでも許されません。わずかな汚染や電気的な不具合があれば、一日中の作業が台無しになってしまうかもしれません。最悪の場合、プロジェクト全体が台無しになってしまいます。そのため、赤外...

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの安全性の現状 大量生産を行う半導体工場では、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。修理にかかる時間だけが問題なわけではありません。石英管が破裂すると、ガラスの破片やほこりがウェーハに直接当たってしまいます。これにより、歩留まりが低下し、汚染の問題...