もう、機械全体を加熱するのはやめて、部品だけを加熱しましょう。 ほとんどの赤外線ランプは、熱をあちこちに放散してしまいます。360度全方位に熱が放出されるため、狭い半導体製造装置の中で作業を行う際には大変です。熱は加工対象物ではなく、装置の内壁に当たってしまいます。その結果、熱が集中して、電子機器...

リソグラフィー工程において、フォトレジストを焼成する際に2℃もの温度変動が生じると、それは単なるバラつきではなく、チップに欠陥が生じる直接の原因となります。ウェーハの乾燥や焼成処理では、メンテナンス上の基準ではなく、工程自体の熱的制約を守る必要があります。私たちは、そのような現実に合わせてウェーハ...