ウェーハ除湿ランプ

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃程度の温度変動があるだけで、多くのウエハが廃棄処分になってしまいます。残留水分も問題です。それによって、ウエハの表面に不均一な加熱が生じ、パターンの崩れやその他の欠陥が発生し、結果としてコストが増えてしまいます。私たちは、ウエハが加熱される部位...