高精度温度ヒーター

300mmラインでは、熱バランスは単なる目安ではなく、絶対に超えてはいけない基準値です。ソフトベイク時に温度が0.5度程度変動しても、その影響はフォトレジストのプロファイル上に現れます。ハードベイク時に設定値を達成できなければ、現像後に汚れが発生します。私たちは、このような状況に対応するためにこれ...