ポリイミド焼成用赤外線ランプ

リソグラフィーの工程においては、ポリイミド系フォトレジストは、通常のランプを使った場合とは異なる厳格な温度管理が必要です。わずか0.5度程度の温度変動でも、レジストの厚みが均一でなくなってしまいます。また、過度に高い温度で加熱すると、エッチング後に残留物が残ってしまいます。必要なのは、信頼性の高い...