安価なウェーハ乾燥用電球

リソグラフィー工程において、フォトレジストを焼成する際に2℃もの温度変動が生じると、それは単なるバラつきではなく、チップに欠陥が生じる直接の原因となります。ウェーハの乾燥や焼成処理では、メンテナンス上の基準ではなく、工程自体の熱的制約を守る必要があります。私たちは、そのような現実に合わせてウェーハ...