半導体ヒーター部品 中国

ウェーハを扱う現場では、迅速に学習が求められます。焼成温度が半度でも変わると、全体のウェーハの寸法に影響が出てしまいます。ソフトベイクやハードベイクというのは、単なる加熱処理ではなく、実際には寸法精度を保つための手段です。もしヒーターがウェーハ全体の均一性や再現性を保てない場合、製品の歩留まりは低...