乾燥装置がオーブンのようになるのを防ごう もし、製造現場で働いたことがあるなら、この問題はよく知っているはずです。乾燥処理を行っていると、突然装置の内壁が焼け焦げてしまいます。本当に厄介です。 問題は簡単です。通常の加熱素子では、エネルギーがあらゆる方向に放出されます。確かにウェーハは熱くなります...

半導体製造工場での炭素削減：なぜ短波長の赤外線がより効果的な加熱方法なのか 正直に言って、半導体製造工場で炭素中和を実現するのは非常に困難です。問題の大部分は、どうやって熱を扱うかという点にあります。長年にわたり、私たちは抵抗加熱を利用してきましたが、これは非効率的です。ウェハーの周囲の空気を温め...

壁を加熱するのはやめて、ウェーハを効率的に加熱しましょう。 ほとんどの加熱素子は雑然としており、熱があちこちに散逸してしまいます。これは半導体製造装置内では大きな問題です。その結果、「高温の壁」ができてしまい、高価な機器の内部が損傷してしまいます。これは機器自体を危険にさらすだけでなく、機械の操作...