オゾンフリー赤外線ランプ

ウェーハの汚染を未然に防ぐために 大量生産の半導体製造ラインにおいて、ランプ管が破損すると、それは単なる問題ではありません。それは悪夢そのものです。 通常の石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、シリコンウェーハに微粒子や化学物質が付着してしまいます。一度破損すれば、作ったウェーハは全て廃棄...