なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか IRエミッターは非常に高温になります。本当に、極めて高い温度です。そういう熱的ストレスがかかる状況では、何が起こるか予測不可能です。だからこそ、高純度のセラミック製エンドキャップを使用するのです。これにより、電気端子がランプのケー...

ファブフロアでのフォトレジストベイクにおける0.2℃のドリフトは小さな偏差ではない。これはロットの廃棄を意味する。ウェハレベルの熱均一性がライン幅制御を決定し、熱予算は毎回正確でなければならない。 技術的に重要な点 当社の近赤外線（NIR）エミッターバルブは、ミリメートル未満の熱局所化と安定・再現...