迅速熱処理 RTP ランプ

ファブフロアでは、300mmウェハに数千のダイが詰め込まれており、サーマルバジェットは神聖です。フォトレジストのソフトベイク中やスパイクアニーリング中に2℃の偏差があると、欠陥がパターンに焼き付けられ、CD均一性が規格から外れ、多くの良好なダイが無駄になります。これを防ぐために、ウェハレベルの温度...