是非を言わせて ウェーハ処理においては、稼働時間こそが最も重要です。もしラインが停止してしまうと、すべてが止まってしまいます。それが現実です。 だからこそ、私たちはハロゲンヒーターランプを開発する際、一つの目的だけを念頭に置いています。それは、お客様のラインを常に稼働させ続けることです。当社のスペ...

ファブフロアでは、300mmウェハに数千のダイが詰め込まれており、サーマルバジェットは神聖です。フォトレジストのソフトベイク中やスパイクアニーリング中に2℃の偏差があると、欠陥がパターンに焼き付けられ、CD均一性が規格から外れ、多くの良好なダイが無駄になります。これを防ぐために、ウェハレベルの温度...