省エネ型ウェーハヒーター

壁を加熱するのはやめて、ウェーハを効率的に加熱しましょう。 ほとんどの加熱素子は雑然としており、熱があちこちに散逸してしまいます。これは半導体製造装置内では大きな問題です。その結果、「高温の壁」ができてしまい、高価な機器の内部が損傷してしまいます。これは機器自体を危険にさらすだけでなく、機械の操作...