部屋全体や作業員を加熱するのはやめましょう。
もし半完成品の製造において、従来の対流式オーブンを使ったことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。基材の温度を適切に保つために加熱を強くするのですが、結果的にオーブン全体が非常に高温になってしまいます。内壁がすべての熱を吸収してしまうのです。すると、筐体全体がひどく熱くなり、大量のエネルギーが無駄に消費されます。また、装置自体がラジエーターのようになってしまいます。
これは本当に厄介です。
そこで私たちは、この問題を解決するために、環境全体を加熱する方法を捨て、方向性のある赤外線技術を採用することにしました。
実際の仕組み
対流式オーブンは空気を加熱しますが、赤外線はまるで懐中電灯のようです。電磁波を直線的に放出します。そのため、空気自体はあまり影響を受けず、波長を吸収する物体だけが熱くなります。
このように、熱をウェーハや部品に直接当てることで、周囲の壁は冷たいままです。つまり、作業員が機械の近くに立っていても火傷する心配がなく、また、近くにある敏感な電子機器が熱によって故障する心配もありません。
知っておくべき利点とデメリット
クリーンルームで求められる精度を得るために、私たちは短波長の石英発光体を使用しています。これにより、狭いスペースに大きなエネルギーを集中させることができます。温度上昇も非常に速いです。スイッチを入れると、すぐに熱が止まります。
しかし、注意点もあります。
このランプはエネルギーを狭い範囲に集中させるため、設置には細心の注意が必要です。反射板が少しでもずれていたり、加熱される材料がエネルギーをうまく吸収しなかったりすると、熱が戻ってきてしまいます。もし熱がランプ本体に戻ってしまうと、ランプがすぐに壊れてしまいます。反射板の設定を正確に行うことは、必須です。
実際の運用
最も良い点は、壁が赤くならないため、オーブンの外側に厚い断熱層を使う必要がないことです。
また、ランプをPIDコントローラーに接続することで、温度の変動を抑えることができます。これにより、作業員の作業もずっと楽になります。彼らはまるでストーブのそばにいるような感覚なしに、材料を挿入したりメンテナンスを行ったりできます。これは安全で、効率的です。