लिथोग्राफी प्रक्रिया में, सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान आधा डिग्री का अंतर भी महत्वपूर्ण है। ऐसा अंतर स्प्रेडशीट में कोई संख्या के रूप में दर्ज नहीं होता; बल्कि इसका प्रभाव वायरलेस्ट की मोटाई में परिवर्तन, कमजोर चिपकने की क्षमता, एवं एटचिंग के बाद उत्पादन दर में कमी के रूप में दिखाई देता है। हमने अपने फोटोरेसिस्ट बेकिंग लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि थर्मल प्रक्रिया में होने वाली इस विविधता को दूर किया जा सके… ताकि हर वेफर पर प्रक्रिया नियमित रूप से ही हो सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम NIR एमिटरों का उपयोग करते हैं, जिनका स्पेक्ट्रल नियंत्रण बहुत ही सटीक है… इससे फोटोरेसिस्ट सीधे ही गर्म हो जाता है। इससे सब्सट्रेट में होने वाली देरी कम हो जाती है, एवं थर्मल प्रतिक्रिया भी तेज़ एवं सटीक हो जाती है। बेकिंग क्षेत्र में, वेफर के स्तर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है… एवं हजारों चक्रों के दौरान भी यही स्तर बना रहता है। यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है… एवं हम इं터फ़ेस पर किसी भी प्रकार के कणों की उपस्थिति की जाँच करते हैं। यह उपकरण 24/7 उपयोग हेतु डिज़ाइन किया गया है… एवं इसका उपयोग करने पर उत्पादन दर स्थिर रहती है।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में इसका क्या महत्व है?
“सॉफ्ट बेक” का उद्देश्य फोटोरेसिस्ट की चिपचिपाहट को स्थिर करना एवं इसमें मौजूद घोल को निकालना है… जबकि “हार्ड बेक” का उद्देश्य एटचिंग से पहले ही फिल्म को स्थिर करना है। इस लैंप के उपयोग से, पूरे उत्पादन में एकसमान बेकिंग प्रक्रिया होती है… जिससे दोष एवं पुनः प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है। इसका परिणाम बेहतर फिल्म गुणवत्ता एवं एटचिंग प्रक्रिया में पूर्वानुमेय व्यवहार के रूप में दिखाई देता है। थर्मल स्थिरीकरण भी तेज़ होता है… इससे ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। लंबे समय तक उपयोग करने से आवश्यक स्पेयर पार्ट्स एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
व्यावहारिक विवरण:
ये लैंप सामान्य कोट/बेकिंग उपकरणों में ही उपयोग में आ सकते हैं… लेकिन इंस्टॉलेशन के दौरान वेफर के मार्ग एवं बेकिंग चेंबर की ज्यामिति के साथ इनका संरेखण सही होना आवश्यक है। अपनी विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार डwell टाइम, इंटेंसिटी एवं तापमान सेटिंगों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। निर्धारित वोल्टेज सीमा के भीतर ही इन लैंपों का उपयोग करें… अन्यथा एकरूपता एवं लैंप की उम्र में तेज़ी से गिरावट आ जाएगी।