乾燥装置がオーブンのようになるのを防ごう
もし、製造現場で働いたことがあるなら、この問題はよく知っているはずです。乾燥処理を行っていると、突然装置の内壁が焼け焦げてしまいます。本当に厄介です。
問題は簡単です。通常の加熱素子では、エネルギーがあらゆる方向に放出されます。確かにウェーハは熱くなりますが、他の部分も同様に熱くなります。つまり、空気や装置本体を温めるだけの電力を無駄に消費しているわけです。さらに悪いことに、機械の近くで作業する人々にとっては安全上のリスクもあります。また、継続的な高温によって部品が変形してしまう可能性もあります。
熱を正しい場所に送る
この問題を解決するには、指向性のある赤外線ランプを使用します。これは、普通の電球から懐中電灯に切り替えるのと同じです。360度全方位に光を放つ単純な石英管の代わりに、このランプは内部の反射板や特殊なコーティングを利用して、熱をウェーハに直接向けて集中させます。
その結果、エネルギーが装置の壁に漏れ出すことがなくなります。ウェーハには必要なだけの熱が与えられますが、装置の外側は冷たく保たれます。これにより、過度な冷却ファンや厚手の断熱材を使わずに済みます。
注意点と対処法
このようなランプを導入するのはそれほど難しくありません。高耐熱性のコネクタを使用すれば、端子が壊れる心配もありません。しかし、焦点を正確に合わせる必要があります。熱が「布団」のように広がるのではなく、ビームの形で放たれるため、数ミリのずれでも全てが台無しになってしまいます。治具がずれると、加熱の均一性が失われます。つまり、広範囲に広がる熱の代わりに、精密な制御が求められます。これはトレードオフですが、通常は有益な選択です。
なぜこれが重要なのか
装置内の温度が下がると、すべてが快適になります。センサーやシールも、絶え間ない高温によるダメージを受けなくなり、その結果、長持ちします。また、作業員も熱い表面を避ける必要がなくなります。これは、不格好な保護装置を取り付けることなく、人々の安全を守るためのより良い方法です。