クリーンな環境を維持するために：UHPクォーツIRランプの真実
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はご存知でしょう。問題は単に空気フィルターだけではありません。本当の問題は、目に見えない微粒子です。一般的な加熱要素は、微粒子を放出するという欠点があります。そうなると、ワッフерや高精度な光学部品が壊れてしまいます。
そのため、私たちはランプに超高純度の合成クォーツを使用しています。
素材が重要です。
ほとんどのクォーツには微量の金属不純物が含まれています。温度が上がると、これらの不純物が表面に移動してしまいます。これにより、基板に雪のようなものが付着し、大変なことになります。私たちは高純度の溶融石英を使用して、このような状態を防ぎます。微粒子の放出も、化学的汚染もありません。純粋な熱だけが得られます。
次に、電力についてです。
これらのランプは、迅速に高温に達するように設計されています。フィラメントの仕様を調整することで、高電圧下でも垂れ下がらず、管全体に均一な熱が供給されます。非常に安定した温度管理が可能です。
しかし、このような高エネルギー密度は重荷になります。電源装置に負担がかかります。ランプを初めて使用する際には、電気容量が十分かどうか必ず確認してください。
取り付けについてです。
私たちはR7やSk15のコネクタを使用しています。なぜかというと、しっかりと接続できるからです。接続が緩むとアークが発生し、金属酸化物の粉塵が生じます。クリーンルームでは、これは最悪の事態です。これらのコネクタはプラグアンドプレイ式なので、既存の装置に簡単に取り付けられます。
いくつか注意点があります。
UHPクォーツは、通常のガラスよりも少しもろいです。慎重に扱う必要があります。**絶対に素手で触らないでください。**皮膚の油分が原因で、ランプが早期に壊れてしまいます。取り付ける前に、真空対応の手袋や静電気防止用のウェットティッシュを用意しましょう。そうすれば、クリーンルームや予算も守られます。