近红外 NIR 发射灯泡

在晶圆厂，光刻胶烘烤温度漂移0.2°C并非小偏差。这意味着整批产品报废。晶圆级的热均匀性决定了线宽控制，且热预算必须精确——每一次运行都如此。 技术要点 我们的近红外（NIR）发射灯泡能够实现亚毫米级的热定位，并提供稳定且可重复的热场。我们调整光谱以匹配光刻胶和基底叠层的吸收，使能量集中作用于目标...