ウエハの硬化処理を最大限に活用するために
ウエハを硬化処理する際の目標は単純です。できるだけ多くの熱を基板上に与えることです。機械の筐体を温めるためにわずかな電力も無駄にしたくありません。そこで、金めっきされた反射板が使われます。これにより、通常なら筐体内に漏れてしまう赤外線が再び基板上に戻されます。
なぜ金を使うのか？
磨かれたアルミニウムでも十分だと思うかもしれません。確かに問題ないのですが、長波長の赤外線に対しては効果が劣ります。一方、金は赤外線全体に対して非常に高い反射率を持っています。つまり、より多くの光子がウエハに向かって戻ってくるのです。その結果、エネルギーの集中度が高まり、硬化処理に必要な温度に到達するために高い出力を使う必要がなくなります。これにより、エネルギーコストやハードウェアの負担が軽減されます。
形が重要
反射板は単なる鏡ではなく、熱を方向づけるための道具と考えるべきです。私たちは、ウエハ上の特定の範囲に熱を当てるように反射板の形状を調整します。そうすることで、不快な「低温領域」をなくし、熱が均等に分布するようになります。もし曲率が少しでも変わってしまうと、温度勾配が生じ、硬化処理がうまくいかなくなります。
注意点
金は優れた性能を持っていますが、柔らかい素材です。絶対に研磨剤や強力な化学薬品で拭かないでください。そうするとコーティングが剥がれてしまい、効率が低下します。必ず指定された溶剤を使い、優しく扱ってください。また、この反射板は熱をウエハに効率的に伝える反面、ランプの取り付け部にも大きな負荷をかけます。冷却ファンが十分に機能しているかを確認してください。そうでなければ、ランプが早く壊れてしまいます。適切な空気の流れを確保すれば、処理時間が短縮され、コストも削減されます。